在電子氣家族中，硅烷、磷烷、硼烷、砷烷應用量較大，是IC制造極為重要的原料。其中的磷烷是半導體器件制造中的重要N型摻雜源，同時磷烷還用于多晶硅化學氣相沉淀、外延GaP材料、離子注人工藝、MOCVD工藝、磷硅玻璃(PSG)鈍化膜制備等工藝中。

        當磷烷不慎泄露時，應迅速撤離泄漏污染區人員至上風處，并立即隔離450米，嚴格限制出入。切斷火源。建議應急處理人員戴自給正壓式呼吸器，穿防毒服。盡可能切斷泄漏源。合理通風，加速擴散。噴霧狀水稀釋、溶解。構筑圍堤或挖坑收容產生的大量廢水。如有可能，將漏出氣用排風機送至空曠的地方或裝設適當噴頭燒掉。漏氣容器要妥善處理，修復、檢驗后再用。